3D 측정 솔루션 전문 기업인 스위스 Heliotis사의 heliInspect H8 센서는 백색광간섭측정(WLI)원리를 이용한 고정밀 비접촉식 3D 센서로 미크론 단위 이하의 정밀 검사를 지원합니다. 특허받은HeliInspect 센서의 하드웨어 및 소프트웨어 통합 기술을 통해 유리, 투명체 등 대상물의 표면 재질에구애 받지 않고 측정할 수 있으며, 각 픽셀마다 고속 데이터 처리를 수행하는 특수 CMOS 센서를개발 적용하여 기존의 정밀 3D 센서들과 달리 양산용 인라인 검사가 가능합니다.
[ helilnspect H8의 주요 기능 ]
[ helilnspect H8의 간편한 시스템 구성 ]
[ 고속 영상 처리를 실현한 S4 heliSens 이미지 센서 적용 ]
Heliotis사에서 자체 개발해 heliInspect H8 센서에 적용한 CMOS 센서 기술 S4 heliSens는 각 픽셀별로 영상 신호를 실시간 처리하는 회로가 내장된(스마트 픽셀) 특수 CMOS 센서로서 1초에 백만장의 이미지를 촬영하는 고속 측정을 구현하여 인라인 3D 검사가 가능합니다.
H8 센서는 heliSens™ 이미지 센서를 최적으로지원하는 고속 카메라가 개발 적용되었습니다.센서에서 읽어들인 데이터는 보다 빠른 연산을위해 FPGA기반 알고리즘을 사용하여 추가로처리됩니다. 머신비전 표준 소프트웨어 인터페이스인 GeniCam을 사용하면 이미지 처리 소프트웨어에 쉽고 강력하게 통합할 수 있습니다.
[ 다양한 맞춤형 광학계 모듈 지원 ]
WLI 센서용 광학계는 기존 2D 광학계보다 훨씬 복잡합니다. 해상도와 왜곡에 관한 일반적인 요구사항 외에도 간섭 경계 조건도 고려해야하기 때문입니다. Heliotis는 오랜 경험과 WLI 광학계의설계, 생산 및 인증에 필요한 인프라를 보유하고 있습니다.
주요사양
Michelson type(일체형) | Mirau type(WLI + 렌즈) | |||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
배율 | 모델 | 2x | 4x | 8x | 10x | 20x | 50x | 100x (Nikon only) |
||||
제조사 | 일체형 | Leica | Nikon | Leica | Nikon | Leica | Nikon | Leica | Nikon | |||
FOV (단위 : mm²) |
H8 | 6.48 X 6.14 | 3.24 X 3.07 | 1.62 X 1.54 | 1.296 X 1.229 | 0.648 X 0.641 | 0.259 X 0.246 | 0.13 X 0.12 | ||||
XY Resolution |
H8 | 12 μm | 6 μm | 3 μm | 2.4 μm | 1.2 μm | 0.48 μm | 0.24 μm | ||||
Working Distance |
H8 | 43.0 mm | 42.9 mm | 12.8 mm | 3.6 mm | 7.4 mm | 3.6 mm | 4.7 mm | 2.5 mm | 3.4 mm | - | 2.0 mm |
[ 다양한 3D 검사 및 측정 어플리케이션 ]
WLI 센서용 광학계는 기존 2D 광학계보다 훨씬 복잡합니다. 해상도와 왜곡에 관한 일반적인 요구사항 외에도 간섭 경계 조건도 고려해야하기 때문입니다. Heliotis는 오랜 경험과 WLI 광학계의설계, 생산 및 인증에 필요한 인프라를 보유하고 있습니다.
[ 참고 : WLI 간섭측정의 원리 ]
백색광 간섭계에서 광원으로부터 조사된 빛은 빔스플 리터로 분리되어 하나는 대상물에 다른하나는 센서 내 기준면에 반사되어 센서에 인식됩니다. 이 두 개의 빔이 광 경로 길이가 같은 값에근접할 때, 빛의 간섭이 일어나 휘도의 변화(amplitude)가 커집니다. 빛이 가장 강해지는 포인트를연결하면 큰 포물선(envelope)를 이루며, 이 연결선의 peak 포인트가 대상물까지의 거리를나타내게 됩니다. 간섭이 가장 강해지는 이 envelope peak를 정확하게 찾으려면 대량의 단층정보를 보다 정밀하게 대량으로 취득해야 하고, 이 때문에 보통의 WLI 센서는 측정 시간이 매우길어집니다. heliInspect H8 센서는 20 nm 간격으로 간섭량을 측정하며 스마트 픽셀 센서 기술을사용하여 측정 시간이 단축됩니다.