지 원

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WLI 백색광 간섭계 방식 나노 정밀도 인라인 검사용 3D 센서

3D 측정 솔루션 전문 기업인 스위스 Heliotis사의 heliInspect H8 센서는 백색광간섭측정(WLI)원리를 이용한 고정밀 비접촉식 3D 센서로 미크론 단위 이하의 정밀 검사를 지원합니다. 특허받은HeliInspect 센서의 하드웨어 및 소프트웨어 통합 기술을 통해 유리, 투명체 등 대상물의 표면 재질에구애 받지 않고 측정할 수 있으며, 각 픽셀마다 고속 데이터 처리를 수행하는 특수 CMOS 센서를개발 적용하여 기존의 정밀 3D 센서들과 달리 양산용 인라인 검사가 가능합니다.

[ helilnspect H8의 주요 기능 ]



[ helilnspect H8의 간편한 시스템 구성 ]



[ 고속 영상 처리를 실현한 S4 heliSens 이미지 센서 적용 ]



Heliotis사에서 자체 개발해 heliInspect H8 센서에 적용한 CMOS 센서 기술 S4 heliSens는 각 픽셀별로 영상 신호를 실시간 처리하는 회로가 내장된(스마트 픽셀) 특수 CMOS 센서로서 1초에 백만장의 이미지를 촬영하는 고속 측정을 구현하여 인라인 3D 검사가 가능합니다.



H8 센서는 heliSens™ 이미지 센서를 최적으로지원하는 고속 카메라가 개발 적용되었습니다.센서에서 읽어들인 데이터는 보다 빠른 연산을위해 FPGA기반 알고리즘을 사용하여 추가로처리됩니다. 머신비전 표준 소프트웨어 인터페이스인 GeniCam을 사용하면 이미지 처리 소프트웨어에 쉽고 강력하게 통합할 수 있습니다.



[ 다양한 맞춤형 광학계 모듈 지원 ]



WLI 센서용 광학계는 기존 2D 광학계보다 훨씬 복잡합니다. 해상도와 왜곡에 관한 일반적인 요구사항 외에도 간섭 경계 조건도 고려해야하기 때문입니다. Heliotis는 오랜 경험과 WLI 광학계의설계, 생산 및 인증에 필요한 인프라를 보유하고 있습니다.



주요사양

    Michelson type(일체형) Mirau type(WLI + 렌즈)
배율 모델 2x 4x 8x 10x 20x 50x 100x
(Nikon only)
제조사 일체형 Leica Nikon Leica Nikon Leica Nikon Leica Nikon
FOV
(단위 : mm²)
H8 6.48 X 6.14 3.24 X 3.07 1.62 X 1.54 1.296 X 1.229 0.648 X 0.641 0.259 X 0.246 0.13 X 0.12
XY
Resolution
H8 12 μm 6 μm 3 μm 2.4 μm 1.2 μm 0.48 μm 0.24 μm
Working
Distance
H8 43.0 mm 42.9 mm 12.8 mm 3.6 mm 7.4 mm 3.6 mm 4.7 mm 2.5 mm 3.4 mm - 2.0 mm

[ 다양한 3D 검사 및 측정 어플리케이션 ]



WLI 센서용 광학계는 기존 2D 광학계보다 훨씬 복잡합니다. 해상도와 왜곡에 관한 일반적인 요구사항 외에도 간섭 경계 조건도 고려해야하기 때문입니다. Heliotis는 오랜 경험과 WLI 광학계의설계, 생산 및 인증에 필요한 인프라를 보유하고 있습니다.



[ 참고 : WLI 간섭측정의 원리 ]



백색광 간섭계에서 광원으로부터 조사된 빛은 빔스플 리터로 분리되어 하나는 대상물에 다른하나는 센서 내 기준면에 반사되어 센서에 인식됩니다. 이 두 개의 빔이 광 경로 길이가 같은 값에근접할 때, 빛의 간섭이 일어나 휘도의 변화(amplitude)가 커집니다. 빛이 가장 강해지는 포인트를연결하면 큰 포물선(envelope)를 이루며, 이 연결선의 peak 포인트가 대상물까지의 거리를나타내게 됩니다. 간섭이 가장 강해지는 이 envelope peak를 정확하게 찾으려면 대량의 단층정보를 보다 정밀하게 대량으로 취득해야 하고, 이 때문에 보통의 WLI 센서는 측정 시간이 매우길어집니다. heliInspect H8 센서는 20 nm 간격으로 간섭량을 측정하며 스마트 픽셀 센서 기술을사용하여 측정 시간이 단축됩니다.